以金属元素和非金属元素对碳原子杂化方式的不同作用机理为设计理念，选择合适的金属元素（Me=Ti、Al、W）和非金属元素（Si），通过多种物理气相沉积和化学气相沉积技术相结合的方法，制备系列超低摩擦和高耐磨性的Me/Si共掺杂a-C:H薄膜。研究了工艺参数、掺杂元素种类、含量对薄膜微观结构、机械性能和摩擦学性能的影响。
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